振奋人心!ASML成功研发第一代HMI多光束检测机:产能提升600%

目前制造芯片少不了技术和设备,在技术方面,现在越来越多的芯片厂商采用5nm制造工艺,使芯片性能更加完善;而在设备方面,当然首选光刻机,制造芯片除了技术好以外,还得拥有一台性能强的光刻机,这是必不可少的。目前在光刻机研发领域,荷兰ASML公司当属龙头,是全球唯一一家研发出的高端EUV光刻机的企业,除此之外,它还提供EUV光刻机给其他晶圆代工厂,如英特尔、台积电、三星等企业。

随着科学技术的发展,在5nm工艺制造方面越来越多的晶圆代工厂都已掌握,为了提升竞争力,ASML公司于近日成功研发新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,该产品能够适用于5nm及其他更先进的工艺,促使产能大幅提升600%。

据介绍,HMI eScan1000实际上是一套能够检验先进工艺生产出来的晶圆质量的系统,其作用就是检测制造出来的晶圆是否符合制作工艺要求,以及是否达到预期结果。目前工艺越先进,检测系统就越重要,在制作工艺中越来越看重检测的重要性。

随着制程工艺不断提升,晶圆的制造也越来越复杂,若有一个步骤错误,整个晶圆质量也会随着下降,从而产生更多的错误,就这样HMI eScan1000应运而生。

这是一套以HMI多光束技术为基础的检测系统,它的内部装载有光电子系统,极为复杂。通过系统能够产生以及控制多条电子束,然后根据反射回来的电子束制成影像,进而分析晶圆质量。同时它还有高速运转的平台系统,用来控制测试的晶圆数量,经过一系列运行之后得到计算系统处理电子束的数据。

我们也可以看到,这个第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的优势在于能够同时产生以及控制九条电子束,在此条件下,能够把产能提升到600%,同时还能减少晶圆质量分析所消耗的时间,可谓是相当厉害了。

现在HMI eScan1000已经通过相应测试,目前可以适用于5nm制造工艺以及其他先进工艺,与此同时也交付给客户进行了检测。我相信在未来的时间里,ASML会研发出更多先进设备以满足将来对制造工艺的需求,一起共赴发展。

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